斜齿轮具有更高的传动效率,得益于加工复杂度和齿轮结构的精度。斜齿轮精密行星减速机在传动精度上表现的更好,特别是在大功率行星减速机上,具有更高的扭矩和更稳定的传动,小功率的齿轮减速机也会采用斜齿轮来降低传动误差;斜齿轮能够有效的补偿每个薄片齿轮误差。这个补偿对于轮齿的弹性非常有效,因而得出这样的结果,误差在10mm以内的齿轮都能够使误差起平均作用,从而大幅度减少震动,因而在有负载情况下,能和误差为1mm以内的轮齿那样平稳运行。
斜齿轮行星减速机相比较于直齿轮行星减速机的误差更低,斜齿轮行星减速机内部采用的是斜齿轮,在齿轮加工方面,斜齿要求的精度更高。在齿轮啮合过程中,斜齿轮比直齿轮啮合的更紧密,缝隙更小,所以精度更高。